外径磨削：由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大，通过外径滚磨可以获得较为精确的直径。外径滚磨的设备：磨床平边或V型槽处理：指方位及指定加工，用以单晶硅捧上的特定结晶方向平边或...

需要。把单晶硅棒的外表打磨光滑的话，使用砂轮可以获得更好的效果，因为砂轮能够更细致地切削和打磨物体表面，从而获得更加平滑的效果。

清洗的方式：主要是传统的RCA湿式化学洗净技术。主要原料：H2SO4，H2O2，HF，NH4HOH，HCL（3）损耗产生的原因A.多晶硅--单晶硅棒多晶硅加工成单晶硅棒过程中：如产生损耗是重掺埚底料、头尾料则无法再利用，只能当成...

直拉法是目前最常用的单晶硅生长方法，其原理是将多晶硅棒置于石英坩埚中加热熔化，然后将籽晶浸入熔硅中，并缓慢向上提拉，使硅原子在籽晶的引导下规则排列，形成单晶硅。4.后续处理：生长出的单晶硅棒还需要经过切割、研磨...

理方法同磊晶生长异常处理参照AixtronG4操作指导书作业应及时将Bake或BakeCoatingMOSourceKeyInLEDUP系统中，确保LEDUP系统中Source使用和监控有效参照雷刻机操作指导书作业机台Idle并通知班长及时在MES系统中...

应力分为机械应力和热应力，热应力引起的滑移线是拉晶过程中产生的，一般称作单晶滑移线，往往是拉晶收尾段没收好，温度下降过快，导致晶棒尾部晶格错位，进而产生滑移线。机械应力引起的滑移线，往往是硅片加工中倒角面损伤引起...

圆棒是指直拉法（CZ法）生产的单晶硅棒经过滚磨、抛光处理后获得的圆柱形单晶硅棒。直拉法生产出来的单晶硅棒，由于生长过程中旋转和不等径生长导致表面存在凸纹等不规则形状，必须磨圆。单晶硅方棒是指圆棒经切断、倒角...

单晶拉棒是用于制造半导体器件用的。单晶拉棒是太阳能电池的，单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的，是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅单晶体棒。单晶拉棒生产流程为拉晶、机加以及抛光工序，...

5.直拉法单晶生长过程包括下种、收颈、放肩、等径生长、收尾等步骤。6.提拉出合格的单晶硅棒后，还要经过切片、研磨、抛光等工序过程方可制备出符合集成电路制造要求的硅衬底片。7.常规的硅材料抛光方式有：机械抛光，化学...

化学反应方程式为：Si(s)+3HCl(g)=SiHCl3(g)+H2(g)（放热）(3）随后将三氯化硅和氢气的混合物蒸馏后再和加热到1100°C的硅棒一起通过气相沉积反应炉中，从而除去氢气，同时析出固态的硅，击碎后便...